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经营范围
发明名称
HEAT TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH0351726(A)
申请公布日期
1991.03.06
申请号
JP19890187737
申请日期
1989.07.19
申请人
NEC CORP
发明人
KONO MICHIHISA
分类号
G01K1/08;G01K7/02;H01L21/26
主分类号
G01K1/08
代理机构
代理人
主权项
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