发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0346237(A) 申请公布日期 1991.02.27
申请号 JP19890180169 申请日期 1989.07.14
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SAWACHI MASAO
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/336;H01L23/52;H01L29/78 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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