PATTERN DEFECT DETECTING SYSTEM,申请号GB19880004581-传众专利搜索

发明名称	PATTERN DEFECT DETECTING SYSTEM
摘要
申请公布号	GB2202326(B)	申请公布日期	1991.02.27
申请号	GB19880004581	申请日期	1988.02.26
申请人	* MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA	发明人	YOKO * YAMAMOTO;HITOSHI * TANAKA;NOBORU * MIKAMI
分类号	H01L21/66;G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956	主分类号	H01L21/66
代理机构		代理人
主权项
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