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发明名称
OPTICAL BEAM MONITOR FOR UNCHARGED PARTICLE INCIDENT DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0343997(A)
申请公布日期
1991.02.25
申请号
JP19890178111
申请日期
1989.07.12
申请人
HITACHI LTD;JAPAN ATOM ENERGY RES INST
发明人
ISHIKAWA YASUSHI;OKUMURA YOSHIKAZU
分类号
H05H1/00;H05H1/22
主分类号
H05H1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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