| 发明名称 |
METHOD FOR CLEANING CARBON MATERIAL WITH CHLORINE FLUORIDE GAS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0341199(A) |
申请公布日期 |
1991.02.21 |
| 申请号 |
JP19890177384 |
申请日期 |
1989.07.10 |
| 申请人 |
CENTRAL GLASS CO LTD |
发明人 |
KOBAYASHI YOSHIYUKI;SUENAGA TAKASHI;MORI ISAMU;FUJII TADASHI |
| 分类号 |
C01B9/08;C04B41/53;C04B41/91;C11D7/50;H01L21/00;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
C01B9/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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