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发明名称 CONTROL OF REEL
摘要
申请公布号 JPH0340447(A) 申请公布日期 1991.02.21
申请号 JP19890175789 申请日期 1989.07.07
申请人 SANKYO SEIKI MFG CO LTD;NIPPON STEEL CORP 发明人 FUJIMURA YUKIO;TOKIDA HARUHIRO;HIRASAWA TSUMORU;OHIGATA NAOHARU;ONO JIRO;MATSUBARA TOSHIRO
分类号 H01L21/60;H01L21/50 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
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