摘要 |
L'invention concerne un appareil ainsi qu'un procédé de détection de particules lequel comprend une pluralité de région d'échantillon (74, 76, 78, 80). Un corps de détecteur (14) comporte des parois intérieures définissant des régions d'échantillon espacées présentant un orifice d'admission (36) ainsi qu'un orifice d'évacuation (60). Un écoulement global d'échantillons est divisé en écoulements (B) partiels d'échantillons lesquels sont dirigés de l'orifice d'admission à l'orifice d'évacuation d'une région d'échantillon associée, les particules contenues dans les écoulements (B) partiels d'échantillons diffusent la lumière à mesure que les particules passent à travers le faisceau incident (68). La lumière provenant d'une région d'échantillon (74, 76, 78 ou 80) est dirigée sur un photodétecteur (94, 96, 98 ou 100) lequel émet un signal correspondant à la lumière détectée. La détection des particules se trouvant dans chaque région d'échantillon est fonctionnellement indépendante des autres, mais les informations sont combinées afin de produire un comptage total des particules de l'écoulement global d'échantillons. Selon un autre mode de réalisation, on peut utiliser ledit appareil afin de permettre la détection simultanée de particules de sources séparées du gaz porteur de particules. Par exemple, des zones de salles propres adjacentes peuvent être controlées lors de la canalisation d'écoulements séparés d'échantillons directement dans des orifices d'admission séparés de régions adjacentes d'échantillons. |