| 发明名称 |
FORMATION OF SUPERCONDUCTING THIN FILM BY ORGANOMETALLIC COMPOUND CHEMICAL VAPOR GROWTH METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0340907(A) |
申请公布日期 |
1991.02.21 |
| 申请号 |
JP19890177333 |
申请日期 |
1989.07.10 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
MATSUURA TAKASHI;ITOZAKI HIDEO |
| 分类号 |
C04B41/87;C01B13/14;C01G1/00;C23C16/30;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 |
主分类号 |
C04B41/87 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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