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经营范围
发明名称
ETCHING EQUIPMENT
摘要
申请公布号
JPH0338037(A)
申请公布日期
1991.02.19
申请号
JP19890173215
申请日期
1989.07.05
申请人
FUJITSU LTD
发明人
ISHII MASANORI
分类号
H01L21/306
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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