发明名称 PRODUCTION OF COMPOUND SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH0337190(A) 申请公布日期 1991.02.18
申请号 JP19890171268 申请日期 1989.07.04
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 NANBU KATSUMI
分类号 C30B27/02;H01L21/208 主分类号 C30B27/02
代理机构 代理人
主权项
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