发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0334548(A) 申请公布日期 1991.02.14
申请号 JP19890169543 申请日期 1989.06.30
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 NAKASAKI YASUSHI
分类号 H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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