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发明名称 HIGH ENERGY ION IMPLANTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0334252(A) 申请公布日期 1991.02.14
申请号 JP19890168546 申请日期 1989.06.30
申请人 SHIMADZU CORP 发明人 KAIMOTO AKIRA;FUJITA HIROYUKI
分类号 H05H7/12;H01J37/317;H01L21/265;H05H9/00 主分类号 H05H7/12
代理机构 代理人
主权项
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