发明名称 OPTICAL PUMPING REACTION APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0334538(A) 申请公布日期 1991.02.14
申请号 JP19890169663 申请日期 1989.06.30
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 HIRAMATSU MASAHITO;KAMIMURA TAKAAKI
分类号 H01L21/205;H01L21/263 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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