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发明名称 MANUFACTURE OF CMIS SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0332056(A) 申请公布日期 1991.02.12
申请号 JP19890167753 申请日期 1989.06.29
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 SHINPO MASAFUMI
分类号 H01L29/78;H01L21/22;H01L21/225;H01L21/8238;H01L27/092 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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