DISPOSITIF PERMETTANT D'ASSURER LA PROPRETE D'UNE FENETRE POUR UNE ENCEINTE DE TRAITEMENT

摘要

Un hublot d'observation 10 capable d'offrir une visualisation propre en continu est fourni. La visualisation propre est le résultat du maintien d'un écoulement unidirectionnel d'un gaz de purification depuis l'objectif du hublot 50 et ce jusqu'à la chambre 60 sur laquelle le hublot est monté. Une voie d'écoulement annulaire 34 entourant le chemin de visualisation assure la distribution du gaz de purification jusqu'à une paroi poreuse interne 36 de la voie annulaire 34. Le gaz de purification traverse la paroi poreuse interne 36 et s'écoule selon une direction unique jusqu'à la chambre 32.