| 发明名称 |
DESMEAR AND ETCHBACK USING NF3/02 GAS MIXTURES |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR910000801(B1) |
申请公布日期 |
1991.02.08 |
| 申请号 |
KR19880012349 |
申请日期 |
1988.09.23 |
| 申请人 |
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS INC. |
发明人 |
BARKANIC JOHN A.;REYNOLDS DONNA M. |
| 分类号 |
C23F4/00;C09K13/08;C23G5/00;H05K3/00;(IPC1-7):H05K3/18 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
