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发明名称
FOREIGN SUBSTANCE INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0330448(A)
申请公布日期
1991.02.08
申请号
JP19890165928
申请日期
1989.06.28
申请人
MATSUSHITA ELECTRON CORP
发明人
YONEDA KENJI
分类号
H01L21/66;G01N27/22;G01N27/24
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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