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发明名称 METHODE ZUR HERSTELLUNG EINES HALBLEITERBAUELEMENTS MIT GUTEM OHMISCHEN KONTAKT ZWISCHEN EINER VIELZAHL VON VERDRAHTUNGSEBENEN.
摘要
申请公布号 DE3766890(D1) 申请公布日期 1991.02.07
申请号 DE19873766890 申请日期 1987.06.09
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 MUKAI, RYOICHI, KAWASAKI-SHI KANAGAWA 213, JP
分类号 H01L23/52;H01L21/3205;H01L21/60;H01L21/768;H01L23/525;(IPC1-7):H01L21/90 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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