发明名称 TEMPERATURE CONTROLLING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0328376(A) 申请公布日期 1991.02.06
申请号 JP19890161202 申请日期 1989.06.23
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 GOTO KATSUFUMI
分类号 C30B25/16;C23C16/44;C23C16/46;C23C16/52;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 C30B25/16
代理机构 代理人
主权项
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