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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR PREVENTING OXIDATION AND CONTAMINATION OF SOLID SURFACE
摘要
申请公布号 JPH0325935(A) 申请公布日期 1991.02.04
申请号 JP19890159472 申请日期 1989.06.23
申请人 NEC CORP 发明人 OOTA NAHOMI
分类号 H01L21/302;H01L21/304 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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