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发明名称 DEPOSITED FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0324269(A) 申请公布日期 1991.02.01
申请号 JP19890156763 申请日期 1989.06.21
申请人 CANON INC 发明人 HIRAI YUTAKA
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C23C16/50;C23C16/511;H01L21/205 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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