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发明名称 VERFAHREN ZUR UEBERWACHUNG VOM PLASMAAETZEN.
摘要
申请公布号 DE3676222(D1) 申请公布日期 1991.01.31
申请号 DE19863676222 申请日期 1986.04.11
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 CHEN, LEE;MATHAD, GANGADHARA SWAMI, POUGHKEEPSIE NEW YORK 12603, US
分类号 H01L21/302;H01J37/32;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32;G01N27/00;C23F4/00 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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