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经营范围
发明名称
ION IMPLANTER
摘要
申请公布号
JPH0322340(A)
申请公布日期
1991.01.30
申请号
JP19890158090
申请日期
1989.06.20
申请人
SONY CORP
发明人
TAJIMA KAZUHIRO
分类号
H01J37/317;H01L21/265
主分类号
H01J37/317
代理机构
代理人
主权项
地址
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