| 发明名称 |
INSPECTING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0321880(A) |
申请公布日期 |
1991.01.30 |
| 申请号 |
JP19890156460 |
申请日期 |
1989.06.19 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRON CORP |
发明人 |
SHIMIZU AKIHIKO;MINAMI KENJI |
| 分类号 |
G01R31/26;G01R31/00;G01R31/28;G01R31/319;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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