| 摘要 |
<p>La présente invention concerne un dispositif de mesure des déformations d'une membrane souple (1) scellée par sa périphérie à un support (2) et sur laquelle sont formées quatre jauges constituées d'une couche épaisse d'un matériau piézorésistif et connectées en pont de Wheatstone. Les jauges sont disposées de part et d'autre de la membrane avec, sur chaque face, une jauge (R3, R4) au voisinage du centre et une jauge (R1, R2) au voisinage de la périphérie. Une jauge centrale et la jauge périphérique de la face opposée sont connectées dans des branches opposées du pont, deux jauges de la même face ayant leur point de connexion relié à une borne d'alimantation du pont. Application à un capteur de pression.</p> |
