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发明名称 THIN FILM MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0320093(A) 申请公布日期 1991.01.29
申请号 JP19890010426 申请日期 1989.01.19
申请人 NATL RES INST FOR METALS;HITACHI CABLE LTD;SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 NAKAMURA KEIKICHI;KAISE MASAJI;OGAWA KEIICHI;SATO JUNICHI;HATTORI HISAO
分类号 C01B13/20;C01B13/32;C23C14/56;H01L39/24 主分类号 C01B13/20
代理机构 代理人
主权项
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