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发明名称 Method for forming FET with a super lattice channel
摘要
申请公布号 US4988634(A) 申请公布日期 1991.01.29
申请号 US19900512026 申请日期 1990.04.16
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD. 发明人 YAMAZAKI, SHUNPEI
分类号 H01L29/10;H01L29/15 主分类号 H01L29/10
代理机构 代理人
主权项
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