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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0319223(A) 申请公布日期 1991.01.28
申请号 JP19890153444 申请日期 1989.06.15
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 KUMAKURA MANABU
分类号 H01L21/3205;H01L21/318;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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