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发明名称
METHOD OF FORMING A UNIFORM RESIST FILM BY SELECTING A DURATION OF ROTATION
摘要
申请公布号
KR910000275(B1)
申请公布日期
1991.01.23
申请号
KR19840007779
申请日期
1984.12.08
申请人
HOOYA CO.,LTD.
发明人
OKADA, MASATO
分类号
B05D1/40;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/30
主分类号
B05D1/40
代理机构
代理人
主权项
地址
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