简易高效硅片腐蚀杯

摘要

高效密封简易腐蚀杯为玻璃式石英玻璃制品。由于在杯盖与杯底间采用环形水槽密封取代了磨口密封，杯盖部为夹层冷凝蛇形管结构，保证了密封安全可靠。盖口处不受力，开合方便。不易损坏，部件有良好的互换性。和同种材料磨口杯相比使用寿命长，制作成本低。此结构在化学、电化学、化工系统中可广泛取代磨口回流冷凝装置。有较高的推广应用价值。

主权项

1、一种硅片腐蚀杯，其密封结构为磨口密封结构，本实用新型的特征在于采用带裙边的水环密封结构取代原有的磨口结构，腐蚀杯由两部分组成，下部杯体部分杯口处外围有一环形槽，此槽的外缘高度略低于杯口高度，上部杯盖底部边缘为与上述环形槽相配合的止口，杯体侧面留有一进气嘴，杯盖部内有蛇形冷凝管并在杯盖底开口。