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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0314224(A) 申请公布日期 1991.01.22
申请号 JP19890151627 申请日期 1989.06.13
申请人 NEC CORP 发明人 KONO TOSHIMICHI
分类号 H01L21/76;H01L21/205 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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