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发明名称
THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0313578(A)
申请公布日期
1991.01.22
申请号
JP19890147322
申请日期
1989.06.09
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
AIGA MASAO;ITAGAKI TAKUSHI
分类号
C23C14/50;H01L21/203;H01L21/205
主分类号
C23C14/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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