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发明名称
EXPOSURE OF PATTERN
摘要
申请公布号
JPH0312914(A)
申请公布日期
1991.01.21
申请号
JP19890149159
申请日期
1989.06.12
申请人
NEC CORP
发明人
KAWAURA HISAO
分类号
G03F7/20;H01L21/027
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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