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发明名称
DETECTION OF ROTATION STOP POSITION IN SUSCEPTOR
摘要
申请公布号
JPH0312919(A)
申请公布日期
1991.01.21
申请号
JP19890149043
申请日期
1989.06.12
申请人
SONY CORP
发明人
TANAKA SADAO
分类号
H01L21/205;H01L21/31
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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