| 发明名称 |
DOPING PROCESS OF COMPOUND SEMICONDUCTOR THIN FILM CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0311729(A) |
申请公布日期 |
1991.01.21 |
| 申请号 |
JP19890147226 |
申请日期 |
1989.06.09 |
| 申请人 |
HIKARI GIJUTSU KENKYU KAIHATSU KK |
发明人 |
KAMIJO TAKESHI;SUGIYAMA NAOHARU |
| 分类号 |
C30B29/40;C30B31/06;H01L21/203 |
主分类号 |
C30B29/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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