发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH0311727(A) 申请公布日期 1991.01.21
申请号 JP19890146969 申请日期 1989.06.09
申请人 RICOH CO LTD 发明人 MAARI KOUICHI
分类号 H01L21/20;H01L21/26;H01L21/263;H01L21/268 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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