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发明名称 PLASMA TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0312924(A) 申请公布日期 1991.01.21
申请号 JP19890148078 申请日期 1989.06.09
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 IKEGAMI KOJI
分类号 H01L21/302;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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