发明名称 MOLECULAR BEAM CRYSTAL GROWING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0312390(A) 申请公布日期 1991.01.21
申请号 JP19890144167 申请日期 1989.06.08
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL 发明人 YAMAMOTO TATSU
分类号 C30B23/08;H01L21/203 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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