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发明名称 KALORIMETRISCHES DOSIMETER FUER IONENIMPLANTATIONSAPPARAT.
摘要
申请公布号 DE3766568(D1) 申请公布日期 1991.01.17
申请号 DE19873766568 申请日期 1987.07.17
申请人 EATON CORP., CLEVELAND, OHIO, US 发明人 DOUGLAS-HAMILTON, DIARMAID HUGH, BEVERLY MASSACHUSETTS 01915, US;RUFFELL, JOHN PHILLIP, WENHAM MASSACHUSETTS 01984, US
分类号 G21K5/04;G01T1/12;G01T1/29;H01J37/317;H01L21/265;H01L21/66;(IPC1-7):G01T1/12 主分类号 G21K5/04
代理机构 代理人
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