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发明名称 Power field effect devices having low gate sheet resistance and low ohmic contact resistance
摘要
申请公布号 US4985740(A) 申请公布日期 1991.01.15
申请号 US19890359811 申请日期 1989.06.01
申请人 GENERAL ELECTRIC COMPANY 发明人 SHENAI, KRISHNA;BALIGA, BANTVAL J.;PIACENTE, PATRICIA A.;KORMAN, CHARLES S.
分类号 H01L21/28;H01L21/331;H01L21/332;H01L21/336;H01L23/532;H01L29/417;H01L29/45;H01L29/49;H01L29/78 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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