发明名称 NON-CONTACT TYPE VOLTAGE MEASURING APPARATUS USING LASER BEAM
摘要
申请公布号 JPH036465(A) 申请公布日期 1991.01.11
申请号 JP19890141331 申请日期 1989.06.02
申请人 JAPAN RADIO CO LTD 发明人 AZUMA YOJI
分类号 G01R31/302;G01R19/00;H01L21/66 主分类号 G01R31/302
代理机构 代理人
主权项
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