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发明名称
ANLAGE ZUR REINIGUNG DER OBERFLAECHEN OPTISCHER UND MIKROELEKTRONISCHER BAUELEMENTE MITTELS DAMPFFOERMIGER LOESUNGSMITTEL
摘要
申请公布号
DD285934(A5)
申请公布日期
1991.01.10
申请号
DD19890331028
申请日期
1989.07.21
申请人
FRIEDRICH-SCHILLER- UNIVERSITAET,DD
发明人
UNGER,WOLFGANG,DD;KORNACHER,KLAUS,DD;LOEDEL,WOLFGANG,DD
分类号
B08B3/04;B08B11/00;(IPC1-7):B08B3/04
主分类号
B08B3/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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