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发明名称 Positive resist patterns
摘要
申请公布号 US4983495(A) 申请公布日期 1991.01.08
申请号 US19890456624 申请日期 1989.12.29
申请人 TOSOH CORPORATION 发明人 TSUTSUMI, YOSHITAKA;SEITA, TORU;MATSUMURA, KOUSABUROU;NAGAOKA, KYOKO;YANAGIHARA, TOSHIMITSU
分类号 G03F7/039 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
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