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发明名称 MEASURING METHOD AND APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH031553(A) 申请公布日期 1991.01.08
申请号 JP19890134545 申请日期 1989.05.30
申请人 HIKARI GIJUTSU KENKYU KAIHATSU KK 发明人 AKITA KENZO;TANETANI MOTOTAKA;SUGIMOTO YOSHIMASA;HIDAKA HIROMI
分类号 G01R31/26;G01N21/64;G01R31/302;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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