发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SILICON OXIYNITRITE
摘要
申请公布号 PL152459(B1) 申请公布日期 1990.12.31
申请号 PL19870269626 申请日期 1987.12.22
申请人 发明人
分类号 C01B;C01B21/068;C01B33/00;(IPC1-7):C01B21/068 主分类号 C01B
代理机构 代理人
主权项
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