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发明名称 PROCESS AND APPARATUS FOR MEASUREMENT OF CONCENTRATION AND CHANGE THEREOF BY DEPTH OF CHARGE CARRIERS IN SEMICONDUCTOR MATERIALS, THEIR LAYERED STRUCTURES AND DEVICES
摘要
申请公布号 HU904177(D0) 申请公布日期 1990.12.28
申请号 HU19900004177 申请日期 1990.07.12
申请人 SEMILAB FELVEZETOE FIZIKAI LABORATORIUM RT.,HU 发明人 TUETTOE,PETER,HU;ENDREDI,GABOR,HU
分类号 G01N27/00;G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01N27/00
代理机构 代理人
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