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<p>Ein piezoelektrischer Biegewandler wird angegeben, der sich zum Einbau in einen Ventilkanal eignet. Er besteht aus mindestens einer beidseitig metallisierten Keramikschicht (1,2) mit piezoelektrischen Eigenschaften, die so polarisiert ist, daß sie bei Anlegen einer Spannung eine Längenänderung erleidet und mindestens einem, damit flächig verbundenen steifen Formstück (3) mit etwa gleichen Flächenabmessungen, das bei Anlegen einer Spannung keine oder eine entgegengesetzte Längenausdehnung erleidet. Die Piezokeramikschicht weist eine nicht-metallisierte Stelle (5) mit einer Rauhigkeit Ra von unter 0,5 µm auf, die eine Öffnung (10) im Ventilkanal (11) abdeckt. Vorzugsweise hat die Keramikschicht die Form eines langgestreckten Streifens und die nicht-metallisierte Stelle befindet sich an einem Ende des Streifens.</p> |
