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发明名称 ION SOURCE
摘要
申请公布号 JPH02312141(A) 申请公布日期 1990.12.27
申请号 JP19890132084 申请日期 1989.05.25
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 MATSUDO MASAHIKO
分类号 H01J27/08;H01J27/20;H01J37/077;H01J37/08;H01L21/265 主分类号 H01J27/08
代理机构 代理人
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