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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02310918(A) 申请公布日期 1990.12.26
申请号 JP19890132152 申请日期 1989.05.25
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YAMAMOTO NORIO
分类号 H01L23/52;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/70 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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