电子能谱仪

摘要

本发明提供产生电子发射表面图象的电子能谱仪，包括：a)使表面发射电子的装置：b)第一静电透镜系统，把电子投射到第一衍射面上，作电子图象的傅里叶变换：c)第一个表面图象的环形电容式静电能量分析仪：d)能量选择装置，用来发射只在选定范围内的上述能量色散傅里叶变换电子，e)第二静电透镜系统。本发明的能谱仪可检测分析不受空间细节影响的能谱，并可把相应能量范围内发射电子形成的表面图象投射到第二个象平面上。

主权项

1.一个用于产生发射电子的表面象的电子能谱仪，上述能谱仪包括：a)使上述表面发射电子的装置；b)第一静电透镜系统，它至少把某些所述电子投射到第一衍射面上，作为对至少部分上述表面电子象的傅里叶变换；c)具有一个物平面和与其共轭的第一象平面的环形电容式静电能量分析仪，上述分析仪的上述物平面与上述第一衍射平面重合，上述分析仪投射上述傅里叶变换电子作为上述第一象平面内的能量色散傅里叶变换；d)能量选择装置，它只传输在所选能量范围内的上述能量色散傅里叶变换电子；e)第二静电透镜系统，用来接收上述能量选择装置发出的电子并且随后把部分所述表面电子象投射到第二象平面上。